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首页 产品中心 衍射光学元件 (DOE) 衍射微纳光学元器件

衍射微纳光学元器件

熔融石英、硅

8"晶圆级

二元、8阶、16阶

0.5μm的最小特征尺寸

< 70nm套刻精度

衍射效率高达98%

190nm至5μm波长范围

应用领域:半导体制程、光束整形、激光光学、光场匀化器/扩散器、相位板、三维传感、点阵发生器

衍射微纳光学元器件

技术指标

基于硅或熔融石英材质的衍射微纳光学元器件,2阶至16阶衍射元件设计,最小特征尺寸在500 nm 至1 μm,套刻误差小于70 nm,效率最高可达96%。可应用于泛半导体光场匀化器、高功率激光器光束整形系统、光纤互联涡旋透镜、点阵发生器和匀光扩散器等。

衍射微纳光学元器件亦可用作光场匀化器和整形器,以克服折射微透镜阵列在尺寸、重量或光斑形状等方面的限制,能够在单个元件中实现复杂的光学功能。

 

技术指标

材质

熔融石英(各种等级)和硅

结构组成

2阶(二元)至16阶

精度

典型套刻误差 < 70 nm

最小特征尺寸

500 nm 至1 μm ,根据阶跃高度和刻蚀深度而定

效率

高达 96 %

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